高纯氩气是一种无色、无味、的惰性气体,主要用途包括:
1. 用于半导体工业中的气相沉积、光刻、蚀刻等工艺,作为保护气体和反应气体;
2. 用于金属焊接和切割,作为保护气体,防止氧化和熔化;
3. 用于填充惰性气体灯,如氩气灯、氖气灯等;
4. 用于填充气体分析仪,如气相色谱仪、质谱仪等;
5. 用于气体放电管、高频管等电子管的制造;
6. 用于填充高真空设备,如真空泵、真空炉等;
7. 用于气体保护焊、氩弧焊等焊接工艺;
8. 用于气体保护熔炼、粉末冶金等工艺;
9. 用于气体保护涂装、气体保护热处理等工艺;
10. 用于气体保护切割、气体保护钻孔等工艺。